特種氣體的應用 1 電子氣 體 電子工業(yè)是當今推動科技發(fā)展的高新技術產(chǎn)業(yè), 由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高, 為有別于其它領域應用的氣體, 人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體, 它是當今興起的高技術含量、高投入、高附加值的高新技術產(chǎn)業(yè)。電子行業(yè)常用的特氣超過三十余種，按危險性質(zhì)可分為不燃氣體、可燃氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。按照物理形態(tài)可分為壓縮氣體、液化氣體和低溫氣體。
特種氣體的應用領域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領域, 其中主要應用于半導體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導體工業(yè)中應用的有110 余種單元特種氣體,其中常用的有20～30 種。
在集成電路制造應用方面具體包括集成電路芯片制程、化學氣相沉積和氣體應用、刻蝕和氣體應用、摻雜和氣體應用；在太陽能電池應用方面具體包括太陽能電池的應用、晶體硅太陽能電池生產(chǎn)工藝和氣體應用、薄膜太陽能電池生產(chǎn)工藝和氣體應用；在化合物半導體應用方面具體包括化合物半導體的應用、MOCVD／LED生產(chǎn)工藝和氣體應用；在液晶顯示器應用方面具體包括TFT／LCD的應用、TFT／LCD生產(chǎn)工藝和氣體應用；在光纖應用方面具體包括光纖應用和光纖預制棒的生產(chǎn)工藝和氣體應用[4]。
2 一般混合氣體
由兩種以上氣體混合配制而成的氣體,而且主要標出大致濃度, 即可滿足使用要求,這種氣體稱為一般混合氣體。
對氣體分析儀用氣體, 如含氫10%，其余是氦的混合氣以及含甲烷5%或10%，其余是氬的混合氣，被用作氣相色譜儀的載氣；含氫40%，其余是氮或氦的混合氣被用作氫火焰總烴檢測儀的燃料氣。另外, 含氧20%～60% , 其余是氬的混合氣被用來發(fā)生化學熒光分析儀用的臭氧。
在測定放射性物質(zhì)時, 使用的混合氣有下列幾種組成: 含異丁烷0.95% , 或含丁烷1.3%，或含丙烷1.5%，或含甲烷5%～10%，均以氦為底氣。
各種混合氣也常被用作照明燈具的充填氣和數(shù)字顯示管等的充填氣，這類氣體大多是用下列兩種以上氣體混合而成的: 氬、氖、氦、氪、氮。鹵光源生產(chǎn)則用溴甲烷、氯甲烷、溴化氫、碘甲烷、氯仿等氣體與氬的混合氣。
深海呼吸用含氧20%～60% , 其余是氮或氦的混合氣。激光用氣含CO2 4%～16% ,N2 10%～25%，其余是氦。
金屬熱處理保護氣可用含氫0.5%～10% , 其余為氬的混合氣或二氧化碳10%～40%、20%～60% , 其余為氮氬的混合氣。
光化學反應、動植物實驗室和金屬腐蝕等研究用的混合氣因關系到公害問題, 所以其中二氧化氮、二氧化硫和硫化氫等都要保持低濃度。
3 標準氣體
所謂標準氣體就是用來校正測量儀器、評價測定方法、給出未知樣品氣標準值的氣體。它分為調(diào)整零位用標準氣體(零位氣體)、監(jiān)測環(huán)境用標準氣、工業(yè)分析用標準氣體、醫(yī)療儀器用標準氣體、可燃性氣體泄漏用標準氣體、燃燒器尾氣用標準氣體六大類。由于使用了標準氣, 所以即使在不同場所測定, 也具有相同測定值。
標準氣體應用范圍很廣, 在化工、石油冶金、機械、航天、電子、軍工玻璃、陶瓷、醫(yī)藥醫(yī)療、汽車、光纖、激光、潛水、環(huán)保、切割、焊接、食品加工等工業(yè)部門均使用大量的常用氣體和特種氣體。其中在石油化工領域?qū)藴蕷怏w的需求量相對較大。