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高純氣體(有機類和無機類)純度含量大總結(jié)


高純氣體(無機類)

氣體名稱

化學(xué)式

規(guī)格(%)

雜質(zhì)(ppm)

氦氣

He

99.995%

CH4≤1 CO2≤1 Ne≤10 H2≤3 CO≤1 H20≤10

99.999%

O2≤1 CH4≤1 CO2≤0.5 Ne≤4 H2≤1 CO≤0.5 H2O≤3

99.9995%

O2≤0.5 CH4≤0.1 CO2≤0.2 Ne≤1 H2≤0.1 CO≤0.1 H2O≤1

Ar

99.99%

O2≤10 THC≤10 N2≤50 H2≤5 H2O≤15

99.999%

O2≤2 THC≤2 N2≤5 H2≤1 H2O≤4

99.9995%

O2≤1 THC≤0.5 N2≤2 H2≤0.5 H2O≤1

H2

99.99%

O2≤5 CO2≤5 N2≤60 CH4≤10 CO≤5 H2O≤30

99.999%

O2≤1 CO2≤1 N2≤5 CH4≤1 CO≤3 H2O≤1

N2

99.99%

O2≤50 CO2≤10 H2≤10 CO≤5 H2O≤15 CH4≤5

99.999%

O2≤1 H2O≤2 H2≤1 HC≤3

O2

99.995%

Ar≤20 CO2≤1 N2≤20 HC≤2

二氧化碳

CO2

99.995%

O2≤10 H2O≤5 N2≤20 CO≤1 HC≤10

99.999%

O2≤1  H2O≤2  N2≤5  CO≤1  HC≤1

一氧化碳

CO

99.95 %

 氮氣<350,氧氣<50,<5


氣體名稱

化學(xué)式

規(guī)格(%)

雜質(zhì)(ppm)

二氧化硫

SO2

99.9%

 +<100,<10,其他<200

一氧化氮

NO

99.5%

 氧化亞氮<4000、二氧化氮<2000、氮氣<300、二氧化碳<500

二氧化氮

NO2

99.9%

氧化亞氮

N2O

99.99%

Ne

99.995%

H2≤2 N2≤5 He≤40 THC≤1 O2+Ar≤2 H2O≤2

99.999%

O2≤1 N2≤5 H2O≤2 He≤10

Kr

99.99%

N2≤20 H2≤2 O2+Ar≤5 Xe≤50 H2O≤3 THC≤3

99.998%

N2≤3 H2≤0.5 O2+Ar≤2 Xe≤4 H2O≤2.6 THC≤1

Xe

99.99%

N2≤20 Ar≤10 N2O≤1 O2≤2 H2≤2 Kr≤50 H2O≤3 HC≤3

99.998%

N2≤3 THC≤1 N2O≤0.5 O2+Ar≤2 H2O≤2.6 H2≤0.5 Kr≤4

硫化氫

H2S

99.9%

 氫氣<200ppm、氧氣+氮氣<100ppm、水<3ppm

液氯

Cl2

99.9%

 二氧化碳<400、一氧化碳 <10、氫氣<200、氮氣<100、氧氣<20、水 <100

99.999%

NH3

99%

99.999%

 氧氣 <1.0ppm,氮氣 <2.0ppm,一氧化碳<1.0ppm水含量<2.0ppm,THC(C1~C3) <1.0ppm

六氟化硫

SF6

99.99%

 O2≤10 H20≤5 N4≤40 HF≤0.1 CF4≤25

合成空氣

Air

O2:19.522.5%

H2O≤5 CO/CO2≤0.5 THC≤5

零空氣

O2: 19.522.5%

H2O≤5 CO/CO2≤0.5 THC≤0.1

高純氣體(有機類)

氣體名稱

化學(xué)式

規(guī)格(%)

不純物(ppm)

甲烷

CH4

99.5%

O2≤100 HC≤1500 N2≤600 H2≤2000

99.95%

O2≤5 H2≤10 N2≤100 HC≤100 H2O≤5 CO/CO2≤10

99.995%

O2≤2 H2≤5 N2≤10 HC≤20 H2O≤5 CO/CO2≤1

99.9995%

O2≤0.5 H2≤0.1 N2≤2 HC≤0.1 H2O≤2 CO2≤0.1

乙烷

C2H6

99.9%

O2≤50 N2≤40 HC≤1000

99.99%

O2≤2  HC≤100 N2≤5 H2O≤5 CO2≤5

乙烯

C2H4

99.95%

O2≤2 CH4≤100 N2≤5 C2H6≤350 H2O≤30 HC≤100

丙烷

C3H8

98.5%

O2≤100 HC≤14000  CO+CO2≤10 H2O≤12

99.95%

O2≤10 HC≤400 N2≤40 H2O≤5 CO2≤10

丙烯

C3H6

99.5%

HC≤1000 C3H8≤4000

99.95%

N2≤10 C3H8≤3000 C4H6-1.3≤5 CH4≤5 C4H10≤5 C2H6≤50 C4H8≤5

丙二烯

C3H4

98%

 丙炔≤20000

丙炔

C3H4

98%

丙二烯≤20000

環(huán)丙烷

C3H6

99%

正丁烷

C4H10

99.0%

O2≤15 H2O≤20 HC≤1%

99.5%

O2≤15 H2O≤12 HC≤5000 CO+CO2≤10

99.95%

O2≤10 H2O≤10 HC≤500 CO+CO2≤10

異丁烷

C4H10

99.5%

O2≤15 C3H8≤4000 C4(uns.)≤100 H2O≤15 n-C4H10≤2500 CO+CO2≤10

99.99%

O2≤10 C3H8≤10 C4(uns.)≤50  H2O≤5  n-C4H10≤50  CO+CO2≤10

丁烯-1

C4H8

99.9%

H2O≤10 HC≤1000

-2-丁烯

C4H8

99.4%

HC≤7000

-2-丁烯

C4H8

99.4%

HC≤7500

異丁烯

C4H8

99.99%

H2O≤5 HC≤100

1.3-丁二烯

C4H6

99.8%

O2≤5 N2≤10 HC≤1200

正戊烷

C5H12

99.5%

C5H100.1wt i-COH12: 0.4wt%

異戊烷

C5H12

99.3%

n-C5H12: 0.5%

氯甲烷

CH3Cl

99%

甲醇≤4000

溴甲烷

CH3Br

99.99%

≤1,水≤2

氯乙烯

C2H3Cl

99.9%




紐瑞德氣體知識展示圖2


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