四氟甲烷 CF4 氣體知識

    四氟甲烷 CF4 物理化學性質 四氟甲烷（Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane ），亦稱四氟化碳，全氟化碳，PFC-14（R-14）。
分子式：CF4。相對分子量：88.00。


    在常溫下，四氟甲烷是無色、無臭、不燃，不溶于水的可壓縮性氣體。 沸點：-128℃，熔點：-183.6℃。液體密度（-130℃）1.613g/cm3，臨界溫度-45.67℃，臨界壓力 3.74Mpa，蒸氣壓（-150.7℃）13.33kPa，介電常數（25℃，0.5Mpa）1.0006。揮發(fā)性較高，是最穩(wěn)定的有機化合物之一，在 900 攝氏度時，不與鋼、鎳、鎢、鉬反應，僅在碳弧溫度下緩慢分解，微溶于水，在 25 攝氏度及 0.1Mpa 下其溶解度為 0.0015％（重量比），然而與可燃性氣體燃燒時， 會分解產生有毒氟化物，危險性類別為第 2.2 類不燃氣體。
    用途四氟甲烷是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體，其高純氣及四氟甲烷高純氣配高純氧氣的混合氣，可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產、激光技術、氣相絕緣、超低溫制冷劑、泄漏檢驗劑、印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。
    包裝運輸四氟甲烷對金屬、合金不腐蝕，可用無縫鋼瓶和鋁合金容器裝運，充瓶壓力通常低于 12.5Mpa，按壓縮氣體運輸，鋼瓶每五年檢驗一次，國外規(guī)定可用汽車、火車、輪船和飛機運輸，國內目前無規(guī)定。鋼瓶包裝（14MPa）（ DOT-3AAGB-5099)，閥門（CGA-580/590,QF-2），32kg/48.8L，30kg/43.3L ，5kg/8L，2.5kg/4L。四氟甲烷產品質量標準（QUALITY STANDARD FOR CF4）

指標名稱	高純級	優(yōu)級品	一級品
含量，%（v/v） ≥	99.99	99.9	99
氮氣，%（v/v） ≤	0.002	0.03	0.3
氧氣，%（v/v） ≤	0.0005	0.01	0.1
水份，ppm ≤	5	5	10
二氧化碳，ppm ≤	5	10	800
氟化碳，ppm ≤	15	20	-
酸度，（HF）ppm ≤	0.1	1	-
六氟化硫，ppm ≤	-	-	600

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