氦氣為什么可做檢漏氣體?
氦氣為什么可做檢漏氣體?首先,因?yàn)楹獾淖钔鈱拥碾娮邮?,而且氦只有一層電子,第一層電子是2,這意味著達(dá)到了穩(wěn)定結(jié)構(gòu),所以氦氣的化學(xué)性質(zhì)相對(duì)來(lái)說(shuō)比較穩(wěn)定。不易發(fā)生反應(yīng)、爆炸等。在一些比較值錢的設(shè)備:例如飛機(jī)、宇宙飛船等都喜歡用氦氣作為檢漏用氣。但氦氣在自然界的儲(chǔ)量少,價(jià)錢也比較昂貴,所以為了節(jié)約成本,一些企業(yè)也就選擇氫和氮的混合氣體作為檢漏用氣,或者直接用氮?dú)庾鳛闄z漏用氣。
氦氣在在半導(dǎo)體中的檢漏作用
為了防止半導(dǎo)體器件、集成電路等元器件的表面因玷污水汽等雜質(zhì)而導(dǎo)致性能退化,就必須采用管殼來(lái)密封。但是在管殼的封接處或者引線接頭處往往會(huì)因?yàn)楦鞣N原因而產(chǎn)生一些肉眼難以發(fā)現(xiàn)的小洞,所以在元器件封裝之后,就需要采取某些方法來(lái)檢測(cè)這些小洞的存在與否。 氦氣檢漏就是采用氦氣來(lái)檢查電子元器件封裝管殼上的小漏洞。因?yàn)楹ぴ拥某叽绾苄,容易穿過(guò)小洞而進(jìn)入到管殼內(nèi)部,所以這種檢測(cè)方法能夠檢測(cè)出尺寸很小的小洞(即能夠檢測(cè)出漏氣速率約為10−11~10−12cm3/sec的小洞),靈敏度可與放射性檢漏方法匹敵,但要比放射性檢漏方法簡(jiǎn)便。 氦氣檢漏試驗(yàn)的方法:首先把封裝好的元器件放入充滿氦氣的容器中,并加壓,讓氦氣通過(guò)小洞而進(jìn)入管殼中;然后取出,并用壓縮空氣吹去管殼表面的殘留氦氣;接著采用質(zhì)譜儀來(lái)檢測(cè)管殼外表所漏出的氦氣。
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