硅烷（硅烷氣體、硅烷氣）的MSDS

硅烷、硅烷氣體、硅烷氣的MSDS

中文名稱 硅烷
英文名稱 SILANE
英文同義詞 SILANEINNITROGEN SILICON HYDRIDE SILICON TETRAHYDRIDE
CAS號(hào) 7803-62-5
EINECS號(hào) 232-263-4
分子式 H4Si
分子量 32.12 

   儲(chǔ)存：
　　1.在通風(fēng)良好、安全且不受天氣影響的地方存儲(chǔ)。鋼瓶應(yīng)直立擺放。且保持保護(hù)性閥蓋和輸出閥的密封完好。
　　2.存儲(chǔ)區(qū)域應(yīng)遠(yuǎn)離頻繁出入處和緊急出口。儲(chǔ)存區(qū)域內(nèi)不應(yīng)有火源，儲(chǔ)存區(qū)內(nèi)所有電器必須有防爆設(shè)施。易燃物存放區(qū)應(yīng)與氧及氧化物存放區(qū)最少相距20ft 。
　　3.或者在中間放置至少5英尺高的非易燃材料作為屏障，以保證能耐火半小時(shí)。儲(chǔ)存區(qū)和使用區(qū)內(nèi)應(yīng)有“禁止吸煙和使用明火”的告示牌。 苯基氯硅烷4.存儲(chǔ)溫度不可高于125℉(52℃)。將空瓶與滿瓶分開(kāi)存放。避免過(guò)量存儲(chǔ)和存儲(chǔ)時(shí)間過(guò)長(zhǎng)。
　　5.使用先進(jìn)先出系統(tǒng)。應(yīng)考慮在儲(chǔ)存區(qū)內(nèi)安裝測(cè)漏器和報(bào)警設(shè)備。

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使用：

        1.使用防火花工具。不要試圖對(duì)裝有硅烷的鋼瓶進(jìn)行修理、調(diào)節(jié)或其他改動(dòng)。
　　2.如果出現(xiàn)故障或其他操作問(wèn)題，請(qǐng)立即與最近的分銷商聯(lián)系。
　　3.如有可能應(yīng)避免單獨(dú)一個(gè)人操作鋼瓶。所有的操作都應(yīng)這樣進(jìn)行——一旦發(fā)生泄漏，處理緊急情況的人員可以立即趕到。
　　4.用氫離子檢測(cè)器監(jiān)測(cè)硅烷的修理和在空氣中的擴(kuò)散，用紅外/紫外監(jiān)測(cè)器監(jiān)測(cè)火災(zāi) 。所以的監(jiān)測(cè)器都應(yīng)有內(nèi)鎖，一旦發(fā)現(xiàn)問(wèn)題立即自動(dòng)切斷硅烷氣源。
　　5.監(jiān)測(cè)系統(tǒng)應(yīng)裝備備用或應(yīng)急電源。必須有遙控緊急開(kāi)關(guān)，必要時(shí)可關(guān)閉硅烷氣源。
　　6.硅烷系統(tǒng)中不允許使用填壓閥，只允許使用非填壓的膜閥和波紋管閥。在其分配系統(tǒng)中應(yīng)安裝過(guò)流閥或過(guò)流開(kāi)關(guān)。這樣可以在下游管線發(fā)生爆炸時(shí)切斷氣源。這個(gè)開(kāi)關(guān)閥應(yīng)安裝得離氣源越近越好。
　　7.一定不要拉、滾動(dòng)或滑動(dòng)容器。用合適的手推車來(lái)移動(dòng)容器，不要試圖抓住氣瓶的蓋子來(lái)拎起它。保證氣瓶在使用的全過(guò)程中為固定狀態(tài)。
　　8.用一個(gè)減壓器或獨(dú)立的控制閥安全地從氣瓶?jī)?nèi)釋放氣體。用單向閥來(lái)防止倒流。不要用明火或其它附近的熱源加熱鋼瓶的任何部分。
　　9.一旦鋼瓶與吹掃和鈍化過(guò)的系統(tǒng)連接好，應(yīng)緩慢仔細(xì)地打開(kāi)鋼瓶閥。如果使用者在操作氣瓶閥時(shí)有困難，需停止使用，并與供應(yīng)商聯(lián)系。
　　10.不可將工具(如：扳手，螺絲刀，等) 插入閥蓋內(nèi)。 否則會(huì)損壞閥門并引起泄漏。
　　11.使用可調(diào)節(jié)的帶扳手來(lái)打開(kāi)過(guò)緊或生銹的閥蓋。所有管路和相關(guān)設(shè)備接地。電器設(shè)備必須防火花和防爆。

　  特殊注意事項(xiàng)：
　　1.系統(tǒng)溫度不可低于－170℉ (－112℃)，否則可能會(huì)吸入空氣形成爆炸性混合物。
　　2.不要讓硅烷與重金屬鹵化物或鹵素接觸，硅烷與它們劇烈反應(yīng)。應(yīng)仔細(xì)吹掃系統(tǒng)，以防殘留有脫脂劑，其中所含的鹵素或其他含氯的碳?xì)浠�合物�?br />　　3.用二至三倍的工作壓力對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行全面加壓檢漏，最好使用氦氣。此外，還應(yīng)建立和執(zhí)行常規(guī)的檢漏制度。
　　4.系統(tǒng)檢漏或因其他原因打開(kāi)之后，應(yīng)使用抽真空或惰性氣體吹掃的方法將系統(tǒng)中的空氣吹掃干凈。在打開(kāi)任何裝有硅烷的系統(tǒng)之前必須用惰性氣體全面吹掃系統(tǒng)。如果系統(tǒng)中的任何部分有死角或可能殘留硅烷的地方，必須抽真空循環(huán)吹掃。
　　5.應(yīng)將硅烷排放到一個(gè)專門處理它的地方，最好是將它燃燒掉。即使硅烷濃度較低也十分危險(xiǎn)，不能暴露在空氣中。硅烷在被惰性氣體稀釋成不可燃的氣體后也可以排空。
　　6.應(yīng)按照美國(guó)壓縮氣體協(xié)會(huì)的要求儲(chǔ)存和使用壓縮氣體。當(dāng)?shù)乜赡軐?duì)儲(chǔ)存和使用氣體要求有特殊的設(shè)備規(guī)定。

     暴露預(yù)防措施
　　工程控制：在使用和儲(chǔ)藏該產(chǎn)品的區(qū)域或其鄰近區(qū)域應(yīng)安裝硅烷探測(cè)器。提供充足的自然或防爆通風(fēng)以防止氣體濃度的增加，確保硅烷沒(méi)有達(dá)到1.4%燃燒下限。如適用，安裝自動(dòng)監(jiān)視設(shè)備來(lái)探測(cè)爆炸性混合空氣和氧含量。
　　控制參數(shù)：
　　八小時(shí)日時(shí)量平均容許濃度(TLV)：5ppm
　　短時(shí)間時(shí)量平均容許濃度(STEL)：－
　　最高容許濃度：－
　　生物指針：－
　　個(gè)人防護(hù)設(shè)備：
　　呼吸防護(hù)：
　　1.能引起快速窒息的高濃度也在其燃燒極限范圍內(nèi)，不能進(jìn)入。
　　2.緊急情況時(shí)需使用逃生用自給式呼吸器。
　　眼睛防護(hù)：
　　1.佩戴防濺眼鏡或有側(cè)防護(hù)的安全眼鏡和面罩。
　　2.確保使用該產(chǎn)品的附近區(qū)域有安全淋浴及洗眼器。
　　皮膚及身體防護(hù)：當(dāng)操作鋼瓶時(shí)使用工作手套，在緊急情況時(shí)使用防火手套和防火衣。處理泄漏時(shí)戴兩副手套。
　　其其它防護(hù)設(shè)備：工作時(shí)使用恰當(dāng)?shù)纳眢w防護(hù)用品，推薦使用防靜電衣，操作鋼瓶時(shí)建議穿安全鞋。

    物理及化學(xué)性質(zhì)
　　物質(zhì)狀態(tài)：氣體 
       形狀：氣體（硅烷氣體，硅烷氣）
　　硅烷的組成結(jié)構(gòu)與相應(yīng)的烷烴相似
　　沸點(diǎn)/沸點(diǎn)范圍：( LEL):1.4% (UEL): 96.0%
　　自燃溫度：N/A 燃燒極限 ：N/A
　　熔點(diǎn)：-185℃
　　沸點(diǎn)：-111.5℃
　　液體密度：0.68g/L
　　甲硅烷的密度大于甲烷，熱穩(wěn)定性小于甲烷

    安定性及反應(yīng)性
　　安定性：硅烷氣體自燃，暴露在空氣中會(huì)自燃。
　　需避免的狀況：鋼瓶?jī)?chǔ)存溫度不可高于125℉(52℃) 。
　　應(yīng)避免之物質(zhì)：空氣、鹵素、其他氧化劑和潮氣。
　　危害分解物：未適用

    毒性資料
　　LD50：－ LC50：9600ppm/4小時(shí)
　　毒性效應(yīng)：
　　其他注意事項(xiàng)：研究發(fā)現(xiàn)，當(dāng)老鼠暴露在10000ppm下1小時(shí)或 ≥2500ppm下4小時(shí)會(huì) 對(duì)腎產(chǎn)生影響。老鼠暴露在1000ppm，6小時(shí)/天，5天/周下2到4周后只有輕微的呼吸道刺激。硅烷會(huì)引起細(xì)菌的變異。
　　致癌性：至今未被發(fā)現(xiàn)致癌。

    生態(tài)資料
　　可能之環(huán)境影響/環(huán)境流布：
　　水中毒性：－
　　流動(dòng)性：由于在空氣中自燃，它會(huì)在進(jìn)入土壤之前燃燒掉。
　　持續(xù)性及生物降解：由于在空氣中燃燒并分解，硅烷不會(huì)在環(huán)境中長(zhǎng)期存在。
　　潛在的生物富集：硅烷不會(huì)在生物中積累。
　　注：硅烷不含有任何1類或2類的分解臭氧的化學(xué)物質(zhì)。

    廢棄處置方法
　　未使用過(guò)的產(chǎn)品/空的鋼瓶：將容器及未用的產(chǎn)品返回給供應(yīng)商。不要將剩余或未用的產(chǎn)品擅自處理掉。
　　處理方法：系統(tǒng)中剩余的硅烷應(yīng)在適當(dāng)?shù)娜紵�器中燒掉。該過(guò)程應(yīng)根據(jù)當(dāng)?shù)氐姆ㄒ?guī)進(jìn)行。含有該物質(zhì)的廢物被EPA列位有害廢物。按照當(dāng)?shù)氐姆ㄒ?guī), 用戶要注明廢料的流向。

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