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電子特氣產(chǎn)品：紐瑞德特種氣體


由于現(xiàn)在科技的發(fā)展和技術(shù)的提升，關(guān)于一些高精尖技術(shù)的制造材料也越來越被大家所熟知，在像芯片制造行業(yè)中，就需要一些更為尖端的材料，例如高純硅烷、高純氨、高純笑氣、氖氣等電子特氣就是作為半導(dǎo)體電子行業(yè)應(yīng)用的一種特種氣體，向來被稱之為電子行業(yè)的“血液“，它被廣泛運用于半導(dǎo)體各種制造工藝過程當(dāng)中。


電子特氣對氣體質(zhì)量要求非常高，我國一直以來大多還是依靠進口，目前我國部分產(chǎn)品已獲得突破，高純硅烷、高純氨、高純笑氣、氖氣、高純CL2、高純砷烷和高純鍺烷等均獲得突破。但是國內(nèi)電子特氣行業(yè)還有一些難以突破的技術(shù)壁壘。

一是深度提純技術(shù)難度較大。以硅烷為例，將其純度由4N提純到6N中間有漫長的道路，除了要解決普通氣態(tài)雜質(zhì)的純化問題，還要將金屬元素凈化到10-9級至10-12級。二是包裝和儲運跟不上。超高純氣體的生產(chǎn)和應(yīng)用都要求使用高質(zhì)量的氣體包裝儲運容器、相應(yīng)的氣體輸送管線、閥門和接口，以避免二次污染的發(fā)生。三是分析檢驗觀念落后。國內(nèi)對電子氣體生產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域分析檢測技術(shù)研究開發(fā)尚不夠重視。  

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