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高純氬氣有些什么用途？


高純氬氣(超純氬 Ar Argon ) CAS:7440-37-1


高純氬氣

項目
指標(biāo)純度%
氬氣(Ar)
99.999
99.9995
99.9997
超純氬 99.9999
雜質(zhì)含量(ppm)
氮(N2)
≤5
≤5
≤3
≤0.4
氧(O2)
≤2
≤0.5
≤0.5
≤0.2
氫(H2)
≤1
-
-
-
-
≤1
≤0.5
≤0.1
-
≤1
≤0.5
≤0.1
水份 (H2O)
≤4
≤0.5
≤0.5
≤0.2
總烴類THC
≤2
≤0.3
≤0.2
≤0.1

包 裝：通常采用40升鋼瓶(12～15MPa)，也可根據(jù)客戶需要，分裝到2～10升的氣瓶(10MPa)中。

主要用途：
用于焊接、不銹鋼制造、冶煉，還用于半導(dǎo)體制造工藝中的化學(xué)氣相淀積、晶體生長、熱氧化、外延、擴散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結(jié)等。用作標(biāo)準(zhǔn)氣、平衡氣、零點氣等。

理化性質(zhì)：
分子量：39.948 熔點：-189.2℃
沸點(101.325kPa)：-185.9℃ 液體密度(83.78K，68.749kPa)：1416.6kg/m3
氣體密度(0℃，101.325kPa)：1.7841kg/m3 相對密度(0℃，101.325kPa，空氣=1)：1.380
比容(21.1℃，101.325kPa)：0.6037m3/kg 臨界溫度：-122.4℃
臨界壓力：4864kPa 臨界密度：530.7kg/m3
熔化熱(-189.37℃，68.7kPa)：29.43kJ/kg 汽化熱(-185.86℃,101.325kPa)：160.81kJ/kg
比熱容(101.325kPa，270K)：Cp=519.16J/(kg·K) Cv=309.82J/(kg·K)
比熱比(25℃，101.325kPa，氣體)：Cp/Cv=1.669 粘度(101.325kPa,0℃)：0.02083mPa·s
蒸汽壓(-191.885℃)：53.33kPa (-181.301℃)：159.99kPa (-178.880℃)：199.98kPa
表面張力(84K)：11.46mN/m 導(dǎo)熱系數(shù)(101.325kPa，270K)：0.01620W/(m·K)


紐瑞德氣體知識展示圖2


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