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高純六氟化硫的應用



  工業(yè)級六氟化硫主要用于斷路器、變壓器等電器設備。

  六氟化硫的使用可以增加設備運行的安全性、縮小設備體積、延長設備壽命。近幾年，國家大力發(fā)展基礎電力行業(yè)，給六氟化硫廠家帶來了很大的市場機遇。

  預計今明兩年國內(nèi)六氟化硫需求達到峰值4000～4500噸，2008～2010將穩(wěn)定在4000噸左右。


高純六氟化硫


 另外高純六氟化硫(純度在99.99%以上)，國內(nèi)需求非常旺盛，而且附加值較高。

  高純六氟化硫主要用于半導體工業(yè)中作清洗氣體。

  六氟化硫的成本只有NF3的幾分之一，近年來，各公司以廉價的SF6取代以往CVD工藝中作為清洗氣體的NF3的新技術正被廣泛研究。

  該技術在大幅降低液晶產(chǎn)品加工中占相當比例的CVD氣體成本的同時，還顯示出了極佳的環(huán)保前景，近年來用量有明顯的提高。

  據(jù)權威機構預測，2010年我國將成為僅次于美國的世界第二大集成電路市場，總需求量約為500億美元。目前國內(nèi)使用高純六氟化硫作為蝕刻氣的生產(chǎn)線約有50條左右預計。2016年將達到700噸左右，

  國內(nèi)使用六氟化硫作為蝕刻氣的生產(chǎn)線有近50條，在未來的五年預計將有20條至30條新線建成。每年約消耗高純六氟化硫為600噸左右。而國內(nèi)高純六氟化硫產(chǎn)品遠遠不能滿足市場需求，半導體廠家所用高純產(chǎn)品大部分依賴進口，這給高純六氟化企業(yè)提供更多的發(fā)展機遇。
 
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