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四氟化碳CF4的化學(xué)穩(wěn)定性及其多領(lǐng)域用途


四氟化碳CF4的化學(xué)穩(wěn)定性及其多領(lǐng)域用途
四氟化碳

四氟化碳CF4是電子工業(yè)中常見(jiàn)的原料氣體，分子式：CF4，分子量：88，物化性
質(zhì)：- 熔點(diǎn):-184℃，相對(duì)密度:-128，四氟化碳非常穩(wěn)定。即使在碳精電弧的高溫下，
也只有微弱的反應(yīng)。溫度高于1萬(wàn)℃時(shí)，四氟化碳與二氧化碳反應(yīng)產(chǎn)生碳酰氟。除
非反應(yīng)條件極其激烈，否則各種氧化劑和還原劑對(duì)四氟化碳沒(méi)有影響。

四氟化碳產(chǎn)品用途：
四氟化碳是微電子工業(yè)中使用最多的等離子燭刻氣體，其高純度和四氟化碳高純度
與高純度氧氣混合。

1. 可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃和鎢膜材料燭刻。對(duì)于硅和二氧
化硅系統(tǒng)，通過(guò)調(diào)整兩種氣體的比例，可以獲得45：1的選擇性，這在刻蝕多晶硅
格柵極上的二氧化硅薄膜時(shí)非常有用。

2. 電子器件表面清洗、太陽(yáng)能電池生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、
還廣泛應(yīng)用于泄漏檢驗(yàn)劑、控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面。

3. CF4由于其強(qiáng)大的化學(xué)穩(wěn)定性，也可用于金屬冶煉和塑料工業(yè)。

4. 四氟化碳具有良好的溶解氧，因此被科學(xué)家用于超深度潛水實(shí)驗(yàn)，而不是普通的
壓縮空氣。目前，它已經(jīng)在老鼠身上取得了成功，在275米到366米的深度內(nèi)，老鼠
仍然可以安全地脫離危險(xiǎn)。

四氟化碳CF4產(chǎn)品的包裝和儲(chǔ)存
(1)包裝-四氟化碳鋼瓶
名稱(chēng)：鋼質(zhì)無(wú)縫氣瓶 (執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)GB5099\ISO909)
(2)儲(chǔ)存-四氟化碳
1. 氣瓶的使用和檢驗(yàn)符合國(guó)家質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局《氣瓶安全監(jiān)督條例》的規(guī)定。
2. 氣瓶不得靠近火源，不得暴露在陽(yáng)光下，與明火的距離一般不小于10米，氣瓶不
得撞擊。
3. 氣瓶的瓶子嚴(yán)禁沾油。
4. 氣瓶?jī)?nèi)的氣體不能全部用盡，應(yīng)留下不小于0.04MPa的剩余壓力。

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