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電子級(jí)硅烷氣在顯示面板行業(yè)的重要性


電子級(jí)硅烷氣在顯示面板行業(yè)的重要性
硅烷2
電子級(jí)硅烷氣主要用于半導(dǎo)體行業(yè)、顯示面板行業(yè)、光伏行業(yè)、負(fù)極材料等。
電子級(jí)硅烷氣（electronic grade silane）是一種無(wú)色、極活潑的壓縮氣體，在空氣中
自燃。它的應(yīng)用非常廣泛，特別是在半導(dǎo)體行業(yè)中，電子級(jí)硅烷氣扮演著至關(guān)重要的
角色。在半導(dǎo)體行業(yè)中，電子級(jí)硅烷氣主要用于外延沉積晶硅膜和生產(chǎn)多晶硅膜、一
氧化硅膜以及氮化硅膜。此外，它還用于制作高純多晶硅、通過(guò)氣相沉積制作二氧化
硅薄膜、氮化硅薄膜、多晶硅隔離層、多晶硅歐姆接觸層和異質(zhì)或同質(zhì)硅外延生長(zhǎng)原
料、以及離子注入源和激光介質(zhì)等。在光伏產(chǎn)業(yè)中，電子級(jí)硅烷氣作用于光伏電池片
生產(chǎn)減反射膜使用，對(duì)光伏電池片的光吸收效率和電性能有重大影響。在顯示面板行
業(yè)和負(fù)極材料等領(lǐng)域，電子級(jí)硅烷氣也發(fā)揮著重要作用。

電子級(jí)硅烷氣的純度通常在6N（99.9999%）以上，具有純度高、無(wú)污染、對(duì)設(shè)備沒
有腐蝕、能實(shí)現(xiàn)精細(xì)控制等優(yōu)點(diǎn)，成為其他硅源氣體無(wú)法取代的重要特種氣體。它不
僅用于特大規(guī)�；虺笠�(guī)模集成電路、芯片等電子行業(yè)，還用于液晶顯示器行業(yè)、薄
膜太陽(yáng)能電池行業(yè)、半導(dǎo)體LED燈照明行業(yè)以及低輻射（Low-E）鍍膜玻璃等領(lǐng)域。

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