從生產(chǎn)到應(yīng)用,硅烷的全景展示
從生產(chǎn)到應(yīng)用,硅烷的全景展示硅烷的充裝系數(shù)一般為0.450-0.500。
硅烷充裝系數(shù)的定義及計(jì)算方法
硅烷是一種無(wú)色、有毒、非;钴S的壓縮氣體,常溫常壓下。在室溫下著火,在空氣
或鹵素中爆炸性燃燒。如果濃度不夠低,即使用其他氣體稀釋。.它仍能自燃。氬氣
中硅烷含有2%、2.5%氮含2.5%氮含2.5%、當(dāng)氫含有1%時(shí),它仍然會(huì)著火。當(dāng)硅烷
濃度小于1%時(shí),它不會(huì)燃燒,當(dāng)它大于3%時(shí),它會(huì)自燃,~3%可能燃燒。硅烷是一
種與重金屬鹵化物反應(yīng)激烈、與氯、溴發(fā)生爆炸性反應(yīng)、與四氯化碳發(fā)生激烈反應(yīng)的
強(qiáng)還原劑。因此,氟里昂滅火劑不能用于硅烷。硅烷不溶于乙醇、乙醚、苯、氯仿和
四氯化硅。它不與潤(rùn)滑油和脂肪發(fā)生反應(yīng)。它對(duì)幾乎所有的金屬都沒有腐蝕性。有時(shí),
玻璃中的堿也能分解硅烷。二硫化碳中溶解的硅烷也會(huì)在空氣中爆炸。硅烷廣泛用于
硅的延伸生長(zhǎng)、多晶硅、氧化硅、氮化硅等原料、太陽(yáng)能電池、光纖、有色玻璃、
硅烷充裝系數(shù)是指在規(guī)定的充裝條件下,充裝硅烷氣體與充裝器最大允許容積之比。
單體硅烷的化學(xué)純度通常在0.450-0.500之間。
硅烷充裝系數(shù)的計(jì)算方法是:充裝系數(shù)=充裝后的容積/充裝器的最大允許容積。需要
注意的是,充裝過程中溫度和壓力的波動(dòng)會(huì)影響充裝系數(shù),因此環(huán)境條件應(yīng)盡可能
控制在實(shí)驗(yàn)操作中。
第二,影響硅烷充裝系數(shù)的因素
由于分子結(jié)構(gòu)、物理狀態(tài)等多種因素,硅烷充裝系數(shù)受到影響。
1. 分子結(jié)構(gòu):硅烷的分子結(jié)構(gòu)對(duì)其充裝系數(shù)有明顯影響。與其他氣體類似,硅烷分子之
間也有相互作用,這將增加硅烷分子之間的體積份額,從而降低充裝系數(shù)。
2. 物理狀態(tài):硅烷的物理狀態(tài)對(duì)其充電系數(shù)也有顯著影響。通常硅烷在室溫下處于氣體
狀態(tài),分子間隔大,容易充電;但是當(dāng)溫度下降時(shí),硅烷會(huì)轉(zhuǎn)化為液體或固體,分子
間隔小,所以充電系數(shù)也會(huì)下降。
第三,硅烷的應(yīng)用
高純度硅烷與高純度氨一起用于太陽(yáng)能薄膜電池的生產(chǎn),將硅分子附著在電池表面。
LOW-EE涂層玻璃和高純乙烯一起生產(chǎn)
在大型集成電路的外延生長(zhǎng)過程中,應(yīng)用高純硅烷
研究、開發(fā)和生產(chǎn)國(guó)防和軍事工業(yè)的應(yīng)用
在平板顯示生產(chǎn)中,硅烷也有重要用途。
CVD低溫二氧化硅、用于氮化硅CVD
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