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不同純度用途的硅烷氣


不同純度用途的硅烷氣
硅烷2
硅烷氣的純度不同，用途也不同，具體如下：
1、工業(yè)級硅烷氣(純度) 3N-4N，即 99.9%-99.99%)：
1、金屬表面處理：可用于鋼表面形成硅涂層等金屬材料的表面改性和預處理，以
提高金屬的耐腐蝕性、耐磨性和抗疲勞性。
2、玻璃制造：在玻璃工業(yè)中，它被用作提高玻璃性能的添加劑。例如，添加硅烷
氣體可以提高玻璃的強度、硬度和耐熱性，但也可以降低玻璃的表面張力，使其
更容易加工和成型。
3、橡膠加工：用于橡膠硫化過程，可以提高橡膠的交聯(lián)密度，提高橡膠的機械性
能、耐熱性和耐老化性。硅烷氣體也可用作橡膠的偶聯(lián)劑，以增強橡膠與其他材
料之間的粘結強度。
4、太陽能電池生產(chǎn)：在太陽能電池生產(chǎn)過程中，工業(yè)硅烷氣體可用于制備非晶硅
膜。雖然非晶硅膜的光電轉換效率相對較低，但成本較低，適合大規(guī)模生產(chǎn)。因
此，它在一些對成本敏感的太陽能電池應用中占有一定的市場份額。
硅烷１
二、電子級硅烷氣(純度) 5N 及以上，即 99.999% 及以上）：
1、半導體制造:是半導體微電子工藝中最重要的特殊氣體之一，廣泛應用于單晶
薄膜、微晶、多晶、氧化硅、氮化硅、金屬硅等各種微電子薄膜的制備。例如，
在集成電路制造中，用于化學氣相沉積（CVD）在此過程中，一層固體膜沉積在
硅片表面，形成電路元件結構。
2、平板顯示器制造：在 TFT(薄膜晶體管)/LCD(LCD)生產(chǎn)過程中，硅烷氣等氣體
正在生產(chǎn)中 CVD 解離反應沉積在玻璃基板表面，在高頻交變電場的作用下，形
成各種功能膜，如絕緣膜、半導體膜等。
3、光伏工業(yè)：在光伏工業(yè)中，用于制備多晶硅薄膜和太陽能電池鈍化層。例如
，在光伏工業(yè)中。 TOPCon 在電池技術中，硅烷氣是多晶硅薄層的主要硅源。
在電池背面制備超薄隧道氧化層和混合多晶硅薄層，形成鈍化接觸結構，提高電
池光電轉換效率。
硅烷２
4、電子多晶硅生產(chǎn)：電子多晶硅是半導體行業(yè)的重要原料，可制成電路元件結構，
廣泛應用于計算機、通信等領域。高純硅烷氣是電子多晶硅生產(chǎn)的關鍵原料之一。
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