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特種氣體照亮電子工業(yè)發(fā)展之路


特種氣體照亮電子工業(yè)發(fā)展之路

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特殊氣體主要包括高純度氣體、電子氣體和標準氣體。電子特殊氣體(以下簡稱電子
特殊氣體)是特殊氣體的重要分支，也是超大型集成電路（IC）、平面顯示器件
（LCD、LED、OLED）、太陽能電池是電子工業(yè)生產(chǎn)中不可缺少的原材料。
氣體通常分為常用氣體和特殊氣體，在半導(dǎo)體生產(chǎn)行業(yè)。在這些氣體中，常用氣體是
指集中供應(yīng)和使用大量氣體。 N2、H2、O2、Ar、He 等。特殊氣體是指在半導(dǎo)體生
產(chǎn)過程中使用的一些化學(xué)氣體，如延伸、離子注射、摻合、洗滌和掩膜，即高純度等
氣體類別中的電子氣體。 SiH4、PH3、AsH3、B2H6、 N2O、NH3、SF6、NF3、
CF4、BCl3、BF3、HCl、Cl2等，在 IC 使用的電子氣體在生產(chǎn)過程中幾乎相同。
100 核心工段種類繁多，核心工段常見 30 種左右。正是這些氣體通過不同的工藝
使硅片具有半導(dǎo)體性能，這決定了集成電路的性能、集成度和成品率。即使特定雜質(zhì)
超標，也會造成嚴重的質(zhì)量缺陷，嚴重的不合格氣體擴散，造成整個生產(chǎn)線的污染，
甚至完全癱瘓。所以，電子氣體是制造過程中的基本關(guān)鍵材料，是電子工業(yè)的“血液”。
武漢紐瑞德特種氣體有限公司致力于為市場提供優(yōu)質(zhì)特種氣體、稀有氣體、高純氣體、
有機氣體、專業(yè)定制混合氣體和標準氣體，主要產(chǎn)品為電子氣體，如六氟化硫、四氟
化碳、高純氨氣、笑氣、四氯化硅、六氟乙烷、三氟化氮、氯氣、氯化氫、三氟甲烷、
硅烷等。，具有很強的競爭力。歡迎用戶了解紐瑞德，選擇紐瑞德，實現(xiàn)“雙贏合作”。
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